原子熒光光譜儀又叫原子熒光光度計，分離效果好、靈敏度高、分析速度快，是介于原子發射光譜（AES）和原子吸收光譜（AAS）之間的光譜分析技術。 原子熒光光譜儀熒光的種類有很多種，有共振熒光、直躍熒光、階躍熒光等......
處于基態或低能態的原子, 吸收光源中的共振輻射躍遷到高能態, 處于高能態的原子在返回基態或相同低能態的過程中, 發射出與激發光源輻射相同波長的熒光,這種熒光稱為共振熒光。非共振熒光又可分為直躍線熒光、階躍線熒光和反斯托克斯熒光。
當處于基態的價電子受激躍遷至高能態（E2），處于高能態的激發態電子在躍遷到低能態（E1）（但不是基態）所發射出的熒光被稱為直躍線熒光。
階躍線熒光是當電子從基態躍遷至高能態(E2)后, 由于受激碰撞損失部分能量而降至較低的能態(E1)。從較低能態（E1）回到基態（E0）時所發出的熒光
直躍線和階躍線熒光的波長都是比吸收輻射的波長要長。反斯托克斯熒光的特點是熒光波長比吸收光輻射的波長要短。敏化原子熒光是激發態原子通過碰撞將激發能轉移給另一個原子使其激發，后者再以輻射方式去活化而發射的熒光。
敏化熒光
當受激的第一種原子與第二種原子發生非彈性碰撞時, 可能把能量傳給第二種原子, 從而使第二個原子被激發, 受激的第二種原子去激發過程中所產生的熒光叫敏化熒光。
熱助階躍線熒光
基態原子通過吸收光輻射躍遷至高能態(E2), 處于高能態的價電子在熱能的作用下進一步激發, 電子躍遷至與能級E2相近的更高能態E3。當去激發至低能態（E1）（不是基態）時所發出的次級光被稱為熱助階躍線熒光。
