icp光譜儀的迅速發展和廣泛應用是與其克服了經典光源和原子化器的局限性分不開的，在物理學、化學、生物學和天文學等基礎學科的研究中，以及冶金、地礦、建材、機械、化工、農業、環保、食品和醫藥等國民經濟重要部門，都有廣泛的用途。ICP光譜法是上世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種分析方法。近代的光譜儀大都采用微型計算機處理實驗結果，是當前光譜分析中最迅速、靈敏的一種儀器。在環保、農業和生物樣品分析方面有著重要的運用

　　icp光譜儀在農業、環境保護和生物等樣品分析方面的應用，主要包括空氣、大氣漂塵及顆粒物分析、土壤和肥料分析、植物、動物和有機灰分分析，以及天然水和污水分析等。
雖然發射光譜法在這些領域的應用，目前還不如冶金和地質樣品的分析普遍，但出于這些領域在國民經濟中所具有的重要地位，和發射光譜法在解決這些領域分析問題方面所具有的潛力，它也正在受到廣泛的關注。特別對于某些痕量元素，如B、Co、Cu、Mn、Mo和Zn等，盡管在空氣、水和生物組織中的含量極低，但對植物和動物的生長發育，人類的健康有著密切關系。而ICP發射光譜儀分析法是測定這些痕量元素十分有效的方法之一。